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→Beschichtung über die Gasphase (Vakuumbeschichtung)
Halbleitertechnik, Optoelektronik, Optik und Medizintechnik eingesetzt (<xr id="fig:Examples of vacuum coated semi finished materials and parts"/>).
Bei der Geometrie der beschichtbaren Teile gibt es keine wesentlichen Beschränkungen.
Lediglich die Innenbeschichtung von Bohrungen oder Rohren
werden; außerdem lassen sich Formteile durch geeignete Abdeckungen,
die gleichzeitig als Halterung dienen, selektiv beschichten.
<figure id="fig:Examples of vacuum coated semi finished materials and parts">
[[File:Examples_of_vacuum_coated_semi_finished_materials_and_parts.jpg|left|Figure 2: Beispiele für vakuumbeschichtete Halbzeuge und Teile]]
</figure>
<br style="clear:both;"/>
*'''Werkstoffe'''
