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→Beschichtung über die Gasphase (Vakuumbeschichtung)
|-
|Kathodenzerstäuben (Sputtern)
|Atomare Zerstäubung der Targetplatte<br />(Kathode) in Gasentladung
|10<sup>-1</sup> Pa-1Pa
|10eV-100eV
</figure>
<br style="clear:both;"/>
*'''Werkstoffe'''
Auswahl möglicher Kombinationen von Schicht- und Substratwerkstoffen
