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→Beschichtung über die Gasphase (Vakuumbeschichtung)
sowie chemischen Verbindungen im Vakuum durch Zufuhr thermischer
oder kinetischer Energie mittels Teilchenbeschuss erfolgt. Dabei unterscheidet
man hauptsächlich vier Beschichtungsvarianten (<xr id="tab:Characteristics of the Most Important PVD Processes"/>)<!--(Table 7.6-->:
*Aufdampfen
