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→Beschichtung über die Gasphase (Vakuumbeschichtung)
<figure id="fig:Principle of sputtering">
[[File:Principle of sputtering.jpg|right|thumb|Figure 1: Prinzip der Kathodenzerstäubung; Ar = Argonatom; e = Elektron; M = Metallatom]]
</figure>
Zunächst wird in Argon-Atmosphäre bei niedrigem Druck (10 - 1 Pa) eine